ITO 유리는 어떻게 만들어지나요?

ITO 유리는 어떻게 만들어지나요?

ITO 유리는 일반적으로 물리적 기상 증착(PVD), 특히 스퍼터링이라는 공정을 통해 만들어집니다. ITO 유리 생산과 관련된 일반적인 단계는 다음과 같습니다.

유리 기판:소다석회 또는 붕규산 유리와 같은 고품질 유리 기판으로 시작하십시오. 기판은 깨끗하고 오염 물질이 없어야 합니다.

청소:ITO 코팅 품질에 영향을 미칠 수 있는 먼지, 오일 또는 불순물을 제거하기 위해 유리 기판을 철저히 청소하십시오. 이는 일반적으로 화학적 세척, 초음파 세척 및 탈이온수 세척을 함께 사용하여 수행됩니다.

유리 기판을 로드합니다.청소된 유리 기판을 진공 챔버 또는 스퍼터링 시스템에 놓고 제자리에 단단히 고정되어 있는지 확인합니다.

표적 준비:산화인듐과 산화주석을 원하는 비율로 구성한 고체물질인 ITO(인듐주석산화물) 타겟을 준비합니다. 타겟은 일반적으로 분말 야금 기술로 만들어지며 디스크 또는 직사각형 모양으로 만들어집니다.

스퍼터링 공정:스퍼터링 챔버에서 저압 환경을 조성하고 아르곤과 같은 불활성 가스를 도입합니다. ITO 타겟에 고전압 전위를 적용하여 불활성 가스의 이온이 타겟 표면과 충돌하도록 합니다. 이 충돌로 인해 타겟에서 원자가 떨어져 나가 유리 기판에 증착됩니다.

필름 형성:스퍼터링된 ITO 원자가 타겟에서 방출되면서 진공 챔버를 통해 이동하여 유리 기판 표면에 증착됩니다. ITO 층의 원하는 두께가 달성될 때까지 증착 공정이 계속됩니다. 증착 시간과 스퍼터링 매개변수를 조정하여 두께를 제어할 수 있습니다.

후처리:ITO 층이 증착되면 전기 전도성, 유리 기판에 대한 접착력 및 전반적인 필름 품질을 향상시키기 위해 어닐링 또는 가열과 같은 추가 처리를 거칠 수 있습니다.

검사 및 품질 관리:최종 ITO 코팅 유리는 균일성, 접착성, 투명성 및 전기 전도성을 검사합니다. 필름이 필수 사양을 충족하는지 확인하기 위해 다양한 테스트를 수행할 수 있습니다.

제조 공정의 정확한 세부 사항은 특정 장비, 대상 구성 및 원하는 ITO 필름 특성에 따라 달라질 수 있습니다. 스퍼터링 기술은 ITO 유리 생산에 일반적으로 사용되지만 전자빔 증발이나 화학 기상 증착(CVD)과 같은 다른 방법도 사용할 수 있습니다.

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